超净室部分工艺设备 

  

光刻机

扩散炉

  

PECVD 

深硅刻蚀机

氧化炉

高真空有机蒸发设备

电子束镀膜机

小型蒸发台

抛光机

磨片机

等离子刻蚀机

激光划片机

烧结炉

清洗设备