半导体器件制造工艺线是为帮助学生加深理解和巩固所用的理论知识，提高学生的实践动手能力，培养具有创新意识的高素质人才，依靠中省共建项目资助，历时三年完成工艺线的建设。

该教学工艺线面积360m²，配置了空气净化系统、冷却循环水系统、供气系统、超纯水系统、三废处理系统，达到了万级净化标准（光刻室为千级），拥有扩散炉、烧结炉、氧化炉、刻蚀机、划片机、光刻机、研磨机、抛光机、镀膜机、化学气相淀积台、丝网印刷机、层压机、注胶机、磨角机、制绒槽、清洗机、太阳电池组件测试、器件特性测试仪等工艺和测试设备50多台套。

利用该工艺线，学生可以完成二极管、三极管、晶闸管等电力半导体器件完整制造工艺实践，又能进行氧化、扩散、光刻、镀膜、烧结、刻蚀等半导体器件核心工艺的单步工艺实训与研究工作。实践内容涵盖半导体器件物理、半导体工艺原理、电力半导体器件等本专业核心课程中的相关知识，解决了电子科学与技术专业学生自选实验、开放实验、生产实习、毕业设计等实践环节的系列问题，给学生提供一个全面提高综合能力的平台。

在内容安排上，充分考虑知识的延续性和综合应用，打破各门课程独立安排实验与课程设计的现状，统筹考虑。具体做法为以器件结构设计——工艺设计——工艺实践——器件制作为主线，将半导体器件物理、半导体工艺原理及电力半导体器件等课程的综合实践内容统一安排，贯通执行，进行一轮完整的实践训练。即将学生课程设计完成的设计成果在校内综合实践中加以实现，从而帮助学生将理论学习与新技术相结合，将孤立的知识点进行有机融合，激发学生的学习能力和兴趣，强化对学生综合实践能力的培养，也使学生能够掌握同一个问题在不同的课程中的分析方法和不同的关注点，从而加深理解，做到真正掌握。

超净室局部照片

超净室大厅